X射线荧光光谱法的特点及原理

X射线荧光光谱法是介于原子发射光谱( AES)和原子吸收光谱(AAS)之间的光谱分析技术，又称X射线次级发射光谱分析。

X射线荧光分析是确定物质中微量元素的种类和含量的一种方法，是利用原级X射线光子或其它微观粒子激发待测物质中的原子，使之产生次级的特征X射线（X光荧光）而进行物质成分分析和化学态研究。具有谱线简单，基体影响小，选择性高，测定范围宽等优点。可对原子序数大于9的所有元素作无损分析。电子探针微区分析可分析原子序数大于4的所有元素。

X射线荧光光谱法的原理是当照射原子核的X射线能量与原子核的内层电子的能量在同一数量级时 ，核的内层电子共振吸收射线的辐射能量后发生跃迁，而在内层电子轨道上留下一个空穴，处于高能态的外层电子跳回低能态的空穴,将过剩的能量以X射线的形式放出,所产生的X射线即为代表各元素特征的X射线荧光谱线。其能量等于原子内壳层电子的能级差，即原子特定的电子层间跃迁能量。只要测出一系列X射线荧光谱线的波长，即能确定元素的种类;测得谱线强度并与标准样品比较,即可确定该元素的含量。